![]() Device for forming thin film
专利摘要:
公开号:WO1987005264A1 申请号:PCT/JP1987/000134 申请日:1987-03-03 公开日:1987-09-11 发明作者:Yasuhiro Hashimura;Satoshi Noguchi;Nobuyuki Minami 申请人:Nissha Printing Co., Ltd.; IPC主号:B41F3-00
专利说明:
[0001] 明 細 書 [0002] 明の名^ [0003] 薄属形成装鎌 [0004] 技術分 [0005] 本発明は、 向虞やフォ トレジス ト虞などの薄震、 *ft封入 用シ ルまたは半導体索子の艳縿被虞など 穰々の薄鎮 *被印刷体 に印刷 ·形成す ¾薄裏形成装蟹に «する * [0006] 技術背录 [0007] 従来、 一般に、 紙などの ¾印刷体に襄状の印 Wも行うものとして はオフせ y ト印剿などが知られている, しかしながら、 このオフセ^ ト印刷は、 属知のように印刷インキの Sし水に対する穽) »水性も利 用する印剐方式であるので、 インキ^り口ー から転移せしめられ お印刺ィンキは Sし水と乳化しにくい とが賽求されるので、 ィン キ粘度 8 0 , 0 0 0〜 1 0 0 , 0 0 Ο ο.Ρ.β.の高粘 に賺定される。 そのため、 たとえば、 ¾aia向裏ゃフ * トレジスト «、 »*封入 用シールなどのような粘 *が ¾<3.Ρ.β.〜3 0 , 0 0 0 c,p.t.<0fi¾ な印刷インキ *用いる とが必 sな薄麻も、 ガラス疾ゃセラミ ク扳、 プラスチサクフィルムなどのシート状材料に印刷する;:とが できなかった。 [0008] そ;:で、 本出膝人は、 先に、 第 1 6図に示すような薄澳^成装 * 撻供していもく実開昭 5 8 - 1 7 0 8 6 4号公報參照)。 この装置 は、 ^定パターンに ffi列されお多数のインキセルも上面に有する平 坂状凹版 3 2と被印刷体 3 3と 基台 3 1上に並ぺて載置する一方、 上 IS凹版 3 2の近楝に欽 1 0 ρ. β .〜 3 0 , 0 0 0 o * p. s .の粘度を 有する高分子溶¾からなるインキも上紀凹板 3 2のィンキセルに充 填するインキ供袷装観 (図示せず) と印刷 ール 3 4と奁支持する 印刷 σ ル支持枠 S 5も上艇基台 3 1に上纪凹餱 3 %と被印刷体 3 3との 1»で移動自在に傭えるとともに、 該印刷 ールま持枠 3 5に HO胺 3 2のィンキセルに充填されおインキのうち余分なインキも凹 钣からかき Sとすドクタ 3 6を傭えて大咯構成している。 [0009] この装置においては、 インキ供輳装 から凹 3 2のインキセル にインキも供給してドクタ 3 6で余分なインキもかき落としおのち、 印劇 σ—ル 34も凹 JR32,に圧 »きせつゥ回転させて、 印 Wo ル 34の表面に Iftけられお合成樹 ]»製の柔らかい凸瑯 34aの表面 上艇凹腴 32のインキセルのインキも听 j£パターンに付着きせ、 ィ ンキが付着した印刷 σ—ル 34を被印刷体 33上に搬 ¾して印親 c ^"ル 34も回転させつつ凸 «34a上のインキも被印刷体 33の表 面に印網して上記斩定バタ一ン する β [0010] と::ろで、 上 13凹) «32 形成するに当おり、 凹 JR32を定 Sの みから構成して、 ¾¾龌上面に直挟的に斩定のバターンも形成する ことも考えられるが、 dの場合には饑^的に高钿なものとなり、 ま た、 定懿に直接的にパターンも形成すると、 パターンも交換する壜 合には定整全体も交換する必»があり、 交換作業が^常に S維なも のとなる。 そこで、 上 ¾従来雜資では, 23钣32は、 定 «32a の 上面に展色梹 32b杏着腴可維に面定し、 の晨色坂 32 の表面 に薄い種々のメ キも ¾して所定パターンを形成するようにしてい る β [0011] しかしながら、 上 IBfllitのものでは、 上 ΙΕΛ色 «32bを上 M i 2 a 上に全面に ¾ て正確に平坦に配置する Cとは困戴であ.つ て、 »裸的に れば、 どうしても »色¾ 3 2 b が拔打ち形状 なる ので、 印跚 ール 3 4の凸弗 3 4 a の展色坂 3 2 b に対する接敏圧 も全面に ¾つて一定にすることが ¾しく、 そのおめ印剌ロール 3 4 5 の凸 « 3 4 a に一定厚さの所定バタ一ンを転移させる とが困纖.と なり、 その綾果、 被印躏体 3 3上に印刷されも印綱 Λの厚さも所定 厚さに^成することが困難であるといった ¾息があった。 [0012] したがって、 本発明の目的は、 上 ia¾sも解决することにぁゥて、 新定厚さで斩定パターンの薄胰を被印刷体に高精 *で印劂 ·形成す i ることができる薄腹形成装鼠を ¾供する;:とにある。 [0013] 発明の蘭示 [0014] 上 la目的も遠成するために、 本発明の 1つの特¾によれば、 印刷 a ルに一定量のインキも供袷する凹钣も坂体ではなく円筒体とし て構成し、 この円簡体すなわち凹版口一ルの表面に新定パターンに [0015] I 5 列された多数のィンキセルを有するように構成した薄壤形成装観 が提供される。 この薄虞形成装観は支持手 ¾を有する基合と、 支持 一 一 [0016] 手 ¾に回転自在に支持されかつ所定パターン ic配列されお多欲のィ ンキ ルも表面に賓する ϋϊΙΚロールと、 » 00钣口 ルの表面 イン キを供 するインキ供轸装蒙と、 上紀 00板 σ—ルの屑 Κ新定簡所に 镛えられて該 βί1¾ σ—ルに供哈されたインキも 03®ロール表面に げて上 βインキセル内に一定量のインキも保持させる ドクタと、 上 纪支涛手段の上杞凹版ロールの下方に回転自在に支持されかつ ¾ aa 髌 ルに接蝕する凸瑯も有して上艇凹 JKロ ル表面に圻定パタ ノ ffi判されねィ ンキ ル内 ィ ン千せ上 ¾凸^にお^させる «¾ a—ルと、 上 ia支搀枠 支持されて上 ia印刷ロ ルと上 fa凹版ロー ルとも同期回転 ¾勳させる β動装直と、 上記基台上に S¾観されかつ 被印刷体を秉せるための上面も有する と、 ¾定 «を«合上で被 印刷体搬入 感と印刷位置と被印刷体櫞出位置との Mを移動せしめ る被印刷体 ¾動装魔と、 上纪印刷 σ—ルの回転と上 |£定餮の移 »と. も制 ftして上紀印刷ロールの凸 Φに転移させた折定バターンのイン キを上紀被印刷体に印刺させる制御装置と 備えも β [0017] 上 !B構成においては、 上 gaィンキ供袷雜錄から上 taofljsa—ルの 表面にインキを供給し、 上き 観の E動により ル奁回 転させて上杞ドクタで上 2Ξ凹钣ロールのインキせル内に一定量のィ ンキも保持きせたのち、 上 ΙΕ«¾装置 より凹疾ロールと印刷口一 ルとも回耘させて上 IE凹) g o—ルの表面の新定バターンに 列され お多数のインキセル内のインキも印刷 σ—ルの凸弗に転移させ、 制 翻裟髦の制御により、 印刷 ο ルの下方の基台上に上羝被印刷体 E 動袋置の駆動 より被印刷体が載置された上 K定雜を移動させて印 刷位置に位置させ、 上 IE印刷口一ルの凸部と上記被印刷体の表面と 'を挟蝕させて上紀凸 ¾5のインキを被印刷体に印躪する。 . [0018] 上 IB構成によれば、 一般に、 機械加工において円筒体の表面は平 扳の表面に ぺて高精度に仕上げ加工する::とができるので、 新定 パターンを形成する凹腚 ルの表面を高精¾に仕上げ加工する ;: とができるので、 03皈ロールの表面に、 靳定パターンに 列された 多数のインキセルを直接的に加工付与すれば、 OA艇 ルの所定パ ターンも ¾成しお表面に対する印刷 σ—ルの凸郎の接鉞圧が全面に ¾つて一定になりやすく、 被印刷体上に印刷される印刷澳の厚さを 全面 ¾つて高精度で所定儘することができる。 また、 凹) Sロール のインキセル内の新定バタ—ンのインキも被印刷体表面に転铮させ るに際し、 «c»性凸邻も有する印刷 π ル *介して行うもので'ある から、 ¾¾容爲なたとえばガラス坂のような 被印駙体に対して 5 薄虞も形成する *会に好遽である。 また、 使用するインキの粘度と しては、 数 1 0<j. D, 8.〜 3 0 , 0 0 Oc.p.8., 好ましくは 4 O c.p.i. 〜 1 0 , 0 0 O c.p.s,の場合に圩¾である。 [0019] 本発明の他の特徽によれば、 上 S構成における印劇ロ ルを 略 するとともに凹版ロール この印刷ロールの機能もも涛たしめ、 m ! 0 版ロールから直接被印刷体に印刷する構成の薄膜形成装置が攘供さ れる。 この薄縢形成装置は、 支搀手 ¾ 有する基台と、 支持手 ¾は 回転自在に支持されかつ斩定パターンに記列された多数のインキせ ルも表面に有する凹版口""ルと、 該凹 isロ ルの表面にインキを供 給するインキ供給装匿と、 上 IB凹胺口""ルの局囲所 «簾所 儀えら れ¾凹钣ロールに供給されぉィンキを凹賑ロール表面に広げて上 ¾ [0020] I B [0021] インキセル内に一定量のインキも保持させる ドクタと、 上 SB支持手 にま持され上 IE凹弒 ルを回転駆動させる 動装匿と、 上 IBS 合上に設覼されかつ被印刷体も秉せるための »性上面も有す苍定襞 と、 法定 Sを基台上で被印剿体搬入位置と印刷位鍵と被印瑚体搬出 位鼠との闉も移勐せしめる被印朗体 β動装置と、 上 β凹 ¾ロールの 回転と上 IS定整の移動と *制御して上 凹 Κロールのインキセル内 の新定バタ一ンのィンキ 上 IB被印醐体に印調させる制钿装蒙と 像える。 [0022] 上 ia構成 おいては、 上 ィンキ供袷装置から上 is凹旗ロールの 表面にインキ 供給し、 IE励装置の駆動により凹 ¾口 ル 回転さ せるととも ドクタでィンキを広げて凹版 一ルのインキセル内に 一定量のインキを保持させたのち、 制糠装置の制御により、 上纪被 印刷体甎動装観の «勳により被印刷体 *支持した上 定 も印鲷ロ レの下方の基台上で印躪位魔に移動させ、 上 ta凹 s口一ルと上纪 袪印剿体の表面とを揍鲺させて上 is on版ロールのインキせル中のィ ンキ 被印刷体に印剐する。 [0023] 上 β構成によれば、 一般に、 機械加工において円筒体の表面は平 の表¾は ifcぺて离精 * 仕上げ加工することができるので、 ^定 のパターンも彩成する凹氓 ル 表面 *离精 Kに仕上げ加工する ことができる。 また、 朦 a ルも被印康体に ¾摻挟饑させて印綱 できるようにしているので、 低粘 *で面形分の少ないインキでぁゥ ても、 インキセル内のインキ奁ほぽ 1 0 0 彼印刷体に転移させる ことができる β さらに、 &餮上面も弹性にしているので、 すなわち 定«上に弹性体 *設けているので、 HA皈ロールと被印刷体の捿 »圧 が全面に渡って一定になりやすく、 通度な印圧も得る;:とができる また、 凹版ロールのィンキせル内の所定パターンのィンキ *被印刷 体表面に転移させるに豳し、 印刷 σ ルも介さず直接行うものであ るから、 たとえばブラスチ クフィルムの J うな钦賓被印刷体に対 して薄臆 *形成 る塲合に好遮である。 また、 使用するインキの粘 度としては、 相対的 i 低粘 ¾のインキまで通用が可 IIであり、 数 0. [0024] i 0 0 c. p. e , , 好ましくは δ o , P . 8 .〜敗 1 0 c,p. s .の場合に 好逮である。 [0025] 図面の な说 ϋ · 第 1図は本発明の一実施例にかかる薄康形成装置の斜視 s、. [0026] 第 2図ほ本発明の他の実施例にかかる薄飄形成装置の斜视図、 第 3図は第 1 , 2図の各装観 通用される制御装懨のブロ ク H、 第 4 9図は) «に第 1図の薄虞^成装置における印刷工籙を示す 睇明図、 [0027] 第 1 0 〜 1 4図は «に第 2図の薄臃形成装匿にお る印劂工程を 示す 明図、 [0028] 第 1 5図は第 1 , 2図の各装置における凹裉 σ—ルのインキせル を示す 新面図、 [0029] 第 1 8図は従来の薄骥形成装 Sを示す断面図である。 [0030] 発明も実施するおめの最良の形據 [0031] ^下 、 本発明にかかる実施例も図面に基づいて詳細 ^明する。 第 1荑擻例 [0032] 本実施例にかかる *澳形成装蠹は、 第 1図に示すように、 玄持挣 2 *有する基台 1 *備えている。 このま持枠 2は、 インキ供拾装匿 5と ドクタ 6と Ε髌ロ一ル 3と印刷 ル 4と印刷 π—ル艇動装置 すなわち印刷 a ル眍勐モータ 7とも支 »している · モータ' ¾すれば、 ギヤ 8 , 9の嗜み僉いに基づき印刷 ール 4と凹 口一 ル 3とが同期回転する。 基台 1上には、 ガラス扳などの被印刷体 1 0が載 ¾された被印刷体支持定整 1 1を移動可慷に配置するととも に、 被印刷体 ¾動装置すなわち被印刷体 ¾励モータ 1 2の によ りポ一ルネジ 1 3も {3転させることにより、 上圮基台 1上を定 [0033] 1が^ ¾するようにしている。 定 S 1 1 は、 先ず始めに、 第 1図 示しお袪印刷体擞入位置 Bから印制位 SI Aへと移動せしめられる。 そして、 ンキ供袷装置 5からはィンキが凹 Κ σ ル 3に供給され る。 回钣ロール 3上の余分なインキはドクタでかき落ときれる。 凹 板ロール 3からは印刷 σ—ル 4に折定パターンのィンキが転移せし められ¾ « 次いで、 印刷口 ル 4 印馴位匿 Λの被印躏体 1 0 © ¾ 面に接敏させて »被印刷体 1 0に听定バターンの薄《を印刷形成す る。 その後、 定 ¾ 1 1に載置された被印刷体 1 0も被印馴体 ータ 1 2の ¾動により被印刷体搬出位置 Cへと^動させてそ;:で被 印刷体 1 0奎攤出する。 次いで、 定 « I 1 は高さ糈節手 a (図示せ 一 - ず) によゥて若干下降させた上で袂印刷体駆動1 &―タ 1 2の ¾»に より逆に被印剃体 »出 »派0から印刷 *A *通ゥて被印劇体搬入 位置 Bへと復冊せしめられる。 この閣、 上筘凹胺ロール 3と印刷口 [0034] —ル 4の回転と、 上 aa定 » ι 1の移 »とは制御手 ®によ て制御さ れている。 [0035] 以下に、 各構成瑯材 *さらに鋅細に 明する。 [0036] 上 IB支持枠 2は上纪長方形台からなる基台 1の中央郯靳定位置に [0037] —対の支持扳 2 a * 2 a を対向してお置してなる この一対の支 |# 坂 2 a · 2 a からなる支持枠 2の上 ¾5には上纪 S3钣 α—ル 3を回転 自在に支搀するとともに、 上記凹板ロール 3の斜め下方に上 IB印刺 ロール 4を上記支持枠 2に回転自在に支持する。 まお、 凹钣ロール 3の近谤の支持枠上嬸却には、 回版 σ—ル 3の表面に接蝕させたド クタブレ一ドを有する ドクタ 8を固定する。 このドクタ 6のドクタ ブレード 8 a より上方でかつ (HI钣 ール 3の表面上にィンキ供耠裟 置 5からインキを供給する。 [0038] 上^インキ供袷装置 5ほ、 ドクタ 8の凹板 o—ル 3とは ¾対側の 支持枠上靖! Uに架^された一対のレール 1 5 , 1 5も構える。 =の レ ル 1 5 , 1 5上にはインキ供轸体 5 a も移勐自在に像えるとと もに、 このインキ供袷体 5a のインキノズル 5b も上 IEドクタ 8の 上方でかつ 口 ル 3の表面上方に延ばしている。 上 IBィンキ供 铨体 5» は、 図示しないワイヤなども介して タまたはエア 'ンリ ンダの 勖により、 上纪一対のレール 1 5 , 1 5沿い ½移動して、 133 CJ ル 3の表面上にインキを遍總的に落とす。 このインキは、 おとえば、 粘度が数 1 0〜S 0 ,000 p. 稼度のもので、 合成 树膽または埘碓鲂艇体および溶剤の瀵合物などからなるものである。 [0039] 上 lata钣ロール 3は、 回転轴 3<3 に網雜 3a が团定され なり、 の劂¾3 a は鎮鍵おの表面にメ ' キ扇も形成してなり、 :のメ ツ キ Bの表面にほ第 I 5図 示すように新定パターンに 列まれお多 珐のインキセル 3b ,···, 3 b を備える》 このインキせル 3b はたと えば架さ i 0〜敏 1 0 /imのものであり、 その形伏は形成するバタ ンの形状に応じて通宜 |¾叶される。 上 钣ロール 3の回転軸 3 e は両鳩が支持枠 2の支持 ¾2a ♦ 2a にそれぞれ回 β自在に支搀 — — [0040] され、 Ιίί回転軸 3 β の支持枠 2の一方の支搀棂 2 a から外方に突 ¾ した一端 ほ第 ίギヤ 8を面定し、 回転袖 3 ο で支持きれた上 3EJi ^ 3 a も上 IB印刷ロール 4の f3$ 4 b の凸茚 4 a に一定の圧力で接 蝕させる。 [0041] なお、 上 ia凹版ロール 3ほ、 せラミ ク瓤の凹^ロール 用いて もよく、 あるいは金厲製の凹钣口 ルの¾¾にセラミ ックをコ一ティ ングしお凹髌 ルを用いるのがよい。 のようにする とによゥ て、 上圮 BS版ロール 3の耐刷力が罾しく向上するばかりでなく、 凹 ¾ σ ^ル 3からは金羼など不純物の溶出がなく好都合である。 この ことほ、 ¾¾S向澳ゃ半 *体索子の維緣被瀵などの電気特性が要求 される薄纖も形成する場合、 特に好通である。 上 IBセラミ ク製凹 板ロ ルは、 ブレス法や射出成 ¾法により作製することができ、 ま お、 上纪セラミ クコーチィ ングされお HA钣ロールは、 金属 ロール上 イオンブレーティ ング法ゃスパ タリ ング法によってせ ラミ ク^コーティ ングすることにより作製することができも。 上 IEドクタ 6は図示しないエア 'ンリンダの 動 より 03版ロール 3に接蝕する也賺と凹版 α—ル 3から する位 ¾とに移動する ド クタブレード 6 a も櫞えて、 このブレード 8 β が凹板ロール 3の表 面に拽敏して、 凹版ロール 3の表面上 藩とされおインキを tt¾面 沿いに広げて、 03钣ロ ル 3のインキセル 3 b 内にインキを充填さ せる。 のドクタブレード 6 a も、 まお、 上 iaaa钣ロール 3と同様 に、 セラミ ク製の ドクタブレードやその表面がセラミ ックで: 3— ティ ングされおドクタブレードも用いものがよい。 [0042] まお、 上艇印刷ロ ル 4は、 その回転軸 4 c に腼部 4 b が固定さ れ、 この膶却周面新定衝斩にはたとえば、 ブチルゴムなどのゴムも しくはナイ口ン系榭 などの台成櫞 ½または «光性ゴムもしくは鏃 光性榭賸などからなる软 ¾性凸郯 4 a を備えており、 この凸雜 4 a に上 钣ロール 3の新定パターンのィンキが転零される。 上 転袖 4 c はその雨璣が亥持 ¾ 2 a · 2 a に回転自在に支^され、 上 IS回転釉 4 c の支持枠 2の上 S—方の支持 ¾ 2 a から外方に突出し た一 に第 2ギヤ 9を固定して、 绞第 2ギヤ 9と上 IE第 1ギヤ 8と を噴み合わせる。 上 IS回転軸 4 3 の印刷ロール 4の餽方の支持枠 2 — 1 σ — [0043] の上 IE他方の支持 ¾ 2 a から外方に突出した他靖にほ上 印刷 σ ル¾動モータ 7も遍插する。 したがゥて、 法印刷 σ—ル Β励モータ 7の躯勐 より印刷ロール 4 *回転 ¾励すると、 上圮第 2ギヤ 9 と 第 1ギヤ 8との喷み会いにより 00皈ロール 3 も'印刷ロール 司期 回転する。 [0044] —方、 上き S定 « 1 f は基台 1上に ift*される。 この基合 1上面に は支持枠下方の印刷位置 Aと支持挣下方から ¾印刷体搬入僴に龍れ お被印刷体搬入位置 Bと支持枠下方から被印刷体搬出側に雌れた搬 出位 * Gの閱に両櫞にそれぞれ窠内レール 1 , 1 4も固定し、 上 基台 1上に ¾手方向に移動自在に定憊 I 1を載眞して、 上 12案内 レール 1 4 , 1 4沿いに両位置 A · B · C間で移 ¾する。 この定癍 ί 1の上面にほ扳状被印刷体 1 0も載蠹して位置决め保持する。 の基台 1の上面中奂郯には、 袅手方向沿いにポールネジ 1 3も回転 自在に備えて上 S定^ 1 1 と述稱するとともに、 譏ボールネジ i 3 の一端に被印刷体駆動 タ 1 2を ¾轱して、 —タ 1 2の によりポールネジ 1 Sが正逆回転して定 « 1 1 *上 窠內レ— ル I 4 , 1 い »舍 1上で iW後助させるようにする β 上 ffi被印 馴体 1 0は定盡 1 1の印剿位魔 Aで上 IB印刷ロール 4に »敏し、 印 瑚ロール 4の所定パターンのインキが被印刷体 1 0上に耘移される、 つまり印刷される。 [0045] 5 上 印刷 ール駆動モータ 7と被印刷体 E動 —タ 1 2とは第 3 [0046] . 図に示した制 Λ装置で制御されて、 印睐ロール 4の回転と被印稱体 [0047] 1 0の糁動とが制 ϋきれる [0048] 第 3図に示すように、 主制御郎 I 7から制 »信奄が »今パルス出 力 置 1 8に出力ざれると、 該指令パルス ώ力装置 1 8から各 «動 t 0 モータ 7 , 1 2のポジシ βンュ ツ ト (位置決め装置) 2 3 , 2 4に 対して »令パルスが出力され、 そ::から通転僂母としてサ一ポアン プ 1 9 , 2 1に対して搆令が出力される。 印刷 ール倒サ—ボアン プ 1 9では、 上圮運転信号に基づき印刺ロール駆動モータ 7を Κ動 して、 印劂 ール 4を新定角 *だけ回転させるとともに、 核モータ 7の回転数や回転速度もレゾルバ 2 0で [0049] I 5 ¾t{±iして、 出輪果 サ一 [0050] ボアンプ 1 9やポジシ * ンュ ヅ ト 2 3 フィ ー ドパ クする。 一 方、 上艇被印刷体側サ《ポアンプ 2 1に出力された運転僂号により、 被印刷体躯動モータ 1 2も回坛させ、 ールネジ 1 3も回転させて 被印刷体〖 0も基台 1上で所定位鍵まで移動させるととも 、 勳 ¾ータ 1 2の回転数や回転遂¾をレゾルバ 2 2で橡おして、 渙出核 果もサ—ボアンブ 2 1やポジシ ンユ ッ ト 2 4にフィードパ ク する。 ポジシ aンュニ ト 2 3, 2 4では、 これらのプィ— パ クされお依に δづき遭宜次の違転信号の出力を修芷する。 [0051] 上 ΙΗ構成においては、 第 4図 示すように凹版ロール 3 靳定パ ' ターンのインキセル 3 b , '",3 b も形成した上で、 先ず、 インキ供 袷装置 5から ドクタ δの上方でかつ ffilfig cJ ル 3の表面上にィンキ 1 6が褰とされる。 次いで、 印刷ロール粗動モータ 7が回坛¾動さ れ、 印刷ロール 4の第 2ギヤ 9と第 1ギヤ 3とが喃み合ゥて凹牍ロ ール 3が上 IB印刷口 ル 4と同期回転する。 そうすれば、 第 δ ¾に 示すように、 ドクタ 8のドクタブレード 6 a で ロール 3の表面 にインキ 1 6が &げられてインキせル 3 b 3 b 内 一定量のィ ンキ が蹶に充填せしめられる。 "ル 3が回転してその斩 J£バターンのインキセル 3 b ,'", 3b が印剩 ール 4の凸 «34 a 揍戧すると、 该凸 «4 a が若干織みながら ル 3の新定パタ —ンのインキセル 3 b ,'",3b も形成した弗分に »敏し、 上^凸却 4 a に凹) Sロール 3のインキせル 3b ,«··.3b 内のインキ i 転 5 移させる。 次いで、 第 6図に示すように、 印綱ロール 4の凸郯 4 a [0052] に新定パターンのインキ 1 6を全 Φ転^させたのちでかつ印刷 a ル 4の回転によりその凸邾 4 a が ¾台 1 よう なったとき、 制御绂置の制御により、 被印刷体制御 一タ 1 2も ¾動してポール ネジ 1 3も回転させ、 基台 1上で被印刷体 1 0 «置しぉ定 «I 1 i 0 杏披印刷体擻入位匿 Bから印刷位 まで移勐させる。 このとき、 印刷 σール 4とともに同期回転する凹版 ル 3のインキセル 3 b , '•',3b を 成した ¾5分がドクタ 6の位赋まで回転して、 インキ供 耠肇 Jt 5からインキ 1 8¾ドクタ β上方でかつ凹腚 ール 3の表面 上に ¾とす。 次いで、 印刷ロール 4の凸 Φ4 & と被印刷体 1 0との [0053] •15 位眞決めもしおのち、 第 7図に示すように印刷 ル 4の ¾励 [0054] タ 7と定整 1 1め Κ動モータ 1 2と 制御装置により同期して — ώ *- し、 印剃ロール 4を回転させつつ袪印賙体 i 0を搬出位感 C脚に移 ¾させて印刷ロール 4の凸 ¾S 4 a も若干擁ませつつ被印刷体 1 0の 表面に接蝕させ、 凸節 4 « の斩定バターンのインキ 1 8も袪印刷体 1 0上に転移させる。 このとき、一上記印刷ロール 4の回転により凹 胺 ル 3が回転して、 ドクタ 6のドクタブレード 6 a で上紀凹钣 ロール 3上に供袷されたインキ 1 6を凹腚コール 3の表面に広げる。 次いで、 第 8図に示すように被印刷体 1 0に新定パターンのインキ I 6が印刷されると、 ¾¾モータ 1 2の羝動によりポールネジ I 3 も回転させて定毽 i iを搬出位置 cに &鍵させて被印鯛体 i 0も定 整 1 1上から次工程に »出する。 このとき、 第 8 · 9図に示すよう に、 定 « 1 1が移動したのち、 ¾励 ^"夕 7の駆動により印刷口一 ル 4 と 00敏 c ル 3も同期回転させて、 OA钣 σ—ル 3のインキせル 3 b , - , 3 b 内のインキ 1 6も印刷 ル 4の凸 4 a に転移させ て、 次の印刷に備える一方、 躯勳 —タ 1 2の躯勐裟雪によりポ ルネジ 1 3を回転させて被印刷体 1 0 擻出した定濂 1 1 [0055] 髦 Gから被印刷体搬入 & Λ Βまで^動させて、 次の被印刷体 1 0も - 定 S I 1上に裁置する。 [0056] 上 ¾¾ ^によれば、 一ftに、 擴械加工において ffl鲰体または円 柱体の表面は平坂の表面に比ぺて高精度に仕上げ如ェすもことがで きるので、 所定パターン *形成する凹版口 ル 3の表面も高靖* 仕上げ加工することができ、 凹 ル 3の表面に、 新定パターン に 12列されお多欲のインキセル 3 b . - , 3 b 直接形成すれば、 凹 钣ロール 3の所定パターンも彩成した表面に対する印刷ロール 4の 呔贫 の接敏圧が全面に て一定になりやすく、 袂印剌体 上に印刷される印刷瓤の厚さ 全面 渡って «精¾で斩定據にする こ ができる。 また、 印刷ロール —タ 7で印刷 ール 4と GQ. 皈ロール 3とも同期して回転させるようにしたので、 菏 ル 4 , 3の同期回転櫬構が窗旱なものとなる。 また、 H板ロ ル 3 パダ —ンの藥なつお凹钣 ル 3に交換して支持枠 2にはめこむように すれば、 簡単 かつ確萬にパターンの交換作韋が行え、 ¾痍により 印刷ロール 4の凸筇 4 a と被印刷体 1 0との位置 M係が狂うことが 少ない。 まお、 基台 1上で定 » 1 1も移 »させる機構としてラ ク - - ァンドピユオン镇構も使用しないので、 ラ クとビュオンとの聞の パック シュにより被印觐体 1 ϋに対する印剽 σ ル 4の 4 s の接] »位置がずれるという とほなく、 まお、 ラザクとビユオン との哦み合いにより凸 ¾S 4 a と被印刷体 1 0の表面との接烛圧が ¾ 化して印甽職に濃淡が生じることがないとともに、 ラ yクとピュォ ンの ¾滑粼ゃラ クとピ オンの Wみ会い時に発生する金 ¾粉が被 印刷体 1 0の印刷 «に入ることもない。 まお、 印剿された被印執体 1 0は、 基台 Iの一靖の被印刷体搬入側から他翔の被印刷体截出钿 に基台 ί上も移動するので、 つまり、 従来のように基含 i 対して 被印刷体搬入位置と搬出位置とが同一位置ということはないので、 被印刷体 1 0の搬入 '搬出作窠を円滑に行うことができ、 印闞作藥 効率を向上させる::とができる。 [0057] 第 2実鉋例 [0058] 本実施例にかかる薄旗形成装匿は、 基本的には第 1突施例のもの と同じであるが、 案旗^における印刷 σ—ル 4も備えず、 c ールに印刷 σ ルの機飽 *兼用せしめ、 ::の 钣ロールから被印 期体に 摟印麻すもようにしている。 [0059] すなわち、 第 2 ®に示すように、 支持榉 2 *有する基台 1も «え ている。 この支持挣 2には、 凹胺ロ^ル 3とインキ供給装置 δとド クタ Θとがそれぞれ支持されている。 凹版 ル¾勳装置すなわち Μ琅 CJ—ル ¾励モータ δ 1の魁動により凹板ロール 3も回転させる。 ィンキ供給装置 5からインキ 囬胺ロール 3に供袷してドクタ δで 余分なインキ杏かき落とし、 インキセル 3 b ,'", 3 b 内にインキも 充填させる a —方、 上 IB支持枠 2の下方の «台 1上に、 被印刷体 1 0も載置しおガラス扳などの喇性坂からなる袂印闞体支持定整 1 1 も移動可锥に記置して、 被印刷体 IX動装置すなわち被印刷体 モ タ 1 2の 動によりポールネ 1 3も回転させることにより、 定 養 1 1が移勳するようにしている。 定 ¾ 1 1は先ず始めに、 第 2図 に示した被印剐体搬入位置 Bから印刷位賺 Aへと移動せしめられる。 次いで、 ィンキ *充填した上 ¾凹¾ロール 3 *印刷 置 A おいて 袪印鯛体 1 0の表面に接蝕きせ、 «被印刺体 1 0に新定パターンの 薄胰^印稱,形成する。 その後、 定整 1 1は被印刷体躯励装置の - - 動により被印馴体擴出位置 Cへと移動し、 そ;:で袪印瑚体 1 0が拂 出きれる。 この蘭、 上杞凹腚ロ《ル 3の回転と上 15定 ft 1 1の移動 とほ制 »装置 よって制御されている。 次いで定 »1 1は、 濂 とレ H 4との蘭に介在する高さ調節手 ¾ (図示せず) よ て 降下し、 被印刷体駆動装置の艇勐により逝に被印刷体敏出装鼸 Cか ら印刷位匿 Aを遭って被印躪体搬入位 *Bへと移動する β [0060] 下 、 各構成茚材 *さらに詳網に説明する * 上 支持枠 2ほ一 対の支搀梗 2* ,2aからなり袅方形台からなる基台 ίの中央 ¾5靳 定位滅に配匿されている。 この支持枠 2の上 «5 おいて、 US板ロー ル 3が回転自在に玄搀され、 その凹锒ロ一ル 3の上方にィンキ供輪 装蟹 5と ドクタ 8とが記置されている。 [0061] 上 15凹版ロール 3ほ、 第 1実施判と同搛 , その表面には第 i 5 図に示すように多数のインキセル 3b ,"',3bを備えている この インキせル 3 b はたとえば深さ钕〜敏 1 O iiiaのものである。 上 15 Oil®ロール 3の回転軸 3 c は両蠊^支持枠 2に回転自在に支持され る。 支抻枠 2から外方に突出しお回転軸 3<> の鵜は、 凹板 σ—ル ¾ 励モータ 6 1からなも S3舨ロール g動装置に ¾糠されており、 この Oil ル艇動 タ 8 1の ©勐により凹氓 σ ^·ル 3が回転する。 なお、 凹眠ロール 3は支持枠 2で支持されていもだけであるから、 その交換は簡単かつ容易である。 その交換により凹版ロール 3のィ ンキせル 3 b , - 3 と拔印刷体 1 0 の位 *閼俸が汪わないこと は云うまでもない。 [0062] なお、 上 IE凹旗 o—ル 3ほ、 セラミ ク ana版ロール、 あるいは セラミ ¾/クがコ一ティングされた金属製 G0職ロールを用いてよい c: とは第 1実施例と同様である。 [0063] インキ供袷装置 5は、 第 1突擻判と同様に、 インキ供給体 5 a と インキノズル 5 b と一対の案内レール 1 5 , 1 5とからなる a Cの インキノズル 5 b は、 凹) K cj ル 3のィンキセル 3 b 3 b 中に ィンキが止まる時蘭を短く してインキの乾燥も防止するおめに、 版 ル 3と被印刷体 1 0との接 »位置に出来るだけ い位置に ¾ けられる。 なお、 このインキは、 合成樹 ¾まおは擻 »前) R2体および 溶剂の ¾合物などからなり、 ¾粘度のもののみならず低粘度のもの まで通用が可锥であり、 待に数 P.s.〜欲 I Oc.p.e,種度のものま で ¾用が可铯である β [0064] 被印闞体載置 ¾諷40は基台 1上に設けられ、 定 «61 1と弾性体 42と *内レール 1 4とから構成されていも。 基台 i上に、 袂印刷 体搬入位置 Bと印刷位置 Aと被印刷体搬出位蒙 Cの閱を途練的に裙 ぶ一対の案内レ ル 1 4 , 1 4が固定されている。 ごの案内レ ル 1 4 , 1 上に定整 1 1が移動可裨に 1¾けられている。 定齄 1 1は その表面に弹性体 42が装着されており、 被印刷体艇動袋 *の艇¾ により被印刷体 JR入位魔 Bから印刷位置 を¾つて裱印刷体搬出位 直 Cへと移動することができる。 つまり、 定毽 1 1に ¾桔された被 印刷体艇動モータ 1 2の艇勐によりポ ルネジ 1 3が正; ¾回転し、 定 S 1 1が上^案内レール 1 4 , 1 4 &いに基合 1上で移動する。 このとき、 定 «i uま、 上記高き ¾節手段 (図示せず:) によって、 定盤 1 1上の被印刷体 1 0の表面が S3钣 J —ル 3の下面と掛餽可餱 な高さに設定されている β したがって、 定瘙 1 1が印刷位置 Αに位 *するとき、 定盤 1 1上に載匿した被印刷体 1 0が凹腚 σ—ル 3に - - 接餽し、 凹) K n ^ル 3の所 Sバ ーンのインキ 印飆体 1 0上に 耘移させて薄厲を印刷,形成する β その後、 定 « i 1 は被印斕体 « 動 の艇励により被印刷体搬出位 * cへ 移»し、 *こで被印鹰 体 1 0が铢出されも。 次いで、 定 S 1 1 は高さ ¾節竽 & (図示せず) 5 によ て降下し、 被印刷体 E動装置の E動により逝に被印刷体纖出 位置 Cから袪印刷体搬入位置 Bへと移動する。 この装 Sによれば、 »印刷体»入位鼠 Bと被印刷体搬出位置 Gとが 311の窗新に 1¾けられ ているので、 被印刷体 1 0の搬入, »出作窠も円? »に疔う とがで さる a [0065] 1 0 上 凹板口 ル 勐 ¾ タ 8 1 と被印刷体 E動% タ 1 2とは、 第 3図に示すような制御手 ¾で制裨きれて、 凹) Sロール 3の回転と 定 « 1 1の移動とを制 »する。 [0066] 上 ffiト'クタ Sは、 第 i *ϋ例と问櫞のもめ 用いることがで る が、 *の取付位匿は第 i案旗判と ¾ならしめている。 [0067] I s 上 ia構成によれば、 第 1 0図に示すように、 先ず、 新定パタ ン [0068] K列のインキセル 3 b S b を有すも凹板ロール 3の ¾面に、 ィ 一 一 [0069] ンキノズル 51 からインキも »とし、 ドタタブレード 6»を用いて 凹 ル 3め表面にインキを広げてインキセル 3b ", 3b にィ ンキを充填する。 このとき、 制御 の制徼により、 被印刷体 ¾励 ¾—タ 1 2も駆動してボールネジ 1 3も回転させ、 第 1 1図に示す ように、 定 SI iを被印刷体搬入位 SBから ¾1剐位 ¾Aまで移動さ せる。 インキノ ズル 5 Ό からインキを凹钣ロール 3の表面上に落と しお ¾、 定翁 1 1と 00氓ロール 3とが練り返し同一面が撩蝕するよ うに US坂ロ ル E«J«—タ 7と被印刷体駆勳 *ータ 1 2とも、 制御 装置により同期艇勳させ、 凹胺 ール 3を回転させる。 印刷位 *A において Qg®n—ル 3の下面と被印刷体 1 0の表面とが接鲺し、 m 胺 ル 3のインキセル 3b 中のインキが铗印刷体 1 0に転移し、 薄縝が形成される。 被印劇体に新定パターンのインキが印刷される と、 第 I 2図に示すよう 、 被印刷体お勐モ タ 1 2の により ポールネジ 1 3を回転させて定饑 1 1も被印刷体搬出 &»Cに位 * きせ、 被印刷体 1 0^定 ffil 1上から搬出する。 この間、 B3¾Sロー ル 3は、 次の印刷に慊えて所定の ¾まで回転して停 itする a 方. 彼印購体 1 0が取り出されお定髮 1 1は、 上 IB高さ澜節貓観 03示 せず) によって降下させられ 03饭ロール 3と摻敏しないようにされ 、 % 1 4図に示すように、 ¾印躪体 »出位観 Cから被印刷体搬入 置 Bまで^動すも。 もして、 定 « 1 1上には *性体 4 2も介して次 の被印刷体 1 0が載置させられる》 [0070] 上 ©第 2実施例によれば、 第 1 施例と同樑に、 従来の平扳伏凹 艇に代えて凹氓ロールも箱いるので、 その表面も'高精度に仕上げ如 ェする::とができる a まお、 第 2実施剁では、 特に、 Πϋ ΙΚ σ ^ルか も被印锎体に ¾接短時蘭で印馴されるので、 ィンキの乾爆が權カ抑 えられ、 インキせル内のインキ *ほぼ 1 0 0 被印網体に転移する ことができもという効某がある。 さらに、 凹 ¾ロールが袜印剩体に 接敏するときには ¾性体が ¾形するので、 ¾¾な印圧となる。 その 袪果、 新定厚さの薄狭も被印剐体 高精 *:で印刷すもことができる《 なお、 本発明は上紀各夷施判に限定されるものではなく、 その他 ¾々の想樣で¾施できる。 おとえば、 定 » 1 1も被印刷体搬入位置 Βと印刷 * Αと搬出位魔 Cとの ¾で移動させる機構としては、 上 _ - [0071] ISポールネジ 1 3など 隈定されるものではなく、 ラ クとピ ォ ン機構など肩知の樣構を使用することができる。 また、 制御装置と しては、 サーポュニ ^ トで行 ものに限らず、 ステ ピング *ータ を利用して蹄 ¾励¾ タも制御しおり、 まおは S気償号も利環する, ものに限らず機械的な遠袖により回氓ロール 3の回転と被印刷体 1 [0072] 0の移動と ¾同期制 «するようにしてもよい。 まお、 S印刷体 1 0 の搬入と搬出とも刖健の位»で行わず、 同一の位 *で行うようにし てもよい。 また、 第 1実旗例においては、 00 ロール 3は印莉口 一 ル枢動 —タ 7によらず剌に搴用の E¾も一タも儀えて、 癍ロール も同期して回転させるようにしてもよい。
权利要求:
Claims蹐 求 の 饑 艤 1. 支持手 備えた基台(1)と、 上 IB支持手 ¾(2)に回転自在に支持されかづ折 ¾バターン ¾列 された多敏のインキセル(3 b)も表面に有する凹 ル(3)と、 凹 ¾ロール(3〉の ¾面にインキも供給するインキ供給手 Sく 5) と、 上紀凹板 一ル(3)の周囲所 (祈に儀えられ ¾凹厩ロ ル(3) 供袷されたインキも凹版ロール(3)の表面に広げて上 βィンキセ ル(3 b)内に一定量のインキを保持させる ドタタ(6〉と、 10 上 IS支持手 ¾( 2)に上 3(己凹 IS口 ル(3)の下方において回 ^自在 に支持されるとともに、 »凹 ¾σ ル(3)に接戧して上紀 Μ®σ ル(3 )の表面に新定パターンに配 されたインキセル(3 b〉内のィ ンキが転糁せしめられる凸 «J(4f を属面に有する印刷ロールく 4) と、 I 5 上 is支持手 s(2)にま搀されて上 is印鯛.ロール(4)と上! ana臟ロ —ル(3)とも同期回転 12動させる ¾動装置(7 ,3 , 9)と、 上 ia基台(i)上に! ¾懨されかつ »印刷体 G o〉も乗せるための上 面を有する定 ¾(1 1 )と、 上艇定 «(1 〖)を基台(1 )上で被印刷体搬入位置(B)と印刷位置 (A)と被印剿体搬入位置(C)との間も移勐せしめる被印剿体 K¾装 鼠(1 2 , 1 3)と、 上 25印刷 o ル 4)の回転と上 3Ε定 «(1 1 )の移動とを制攤して 上 IS印刷ロール(4)の凸 «5(4 に転移させた新定バターンのィン キを上記被印刷体(1 0〉に印刷させる制御装 とを有する :とも待 繳とする薄膜形成装置。 2 , 上 12凹版ロール(3)が、 セラミ ツク ¾凹 α ルであること ^犄激とする讅求の範囲第 1項に IB載の薄澳形成装藪。 3 , 上纪凹版ロール(3 )が、 金属製凹版ロールの表面にセラミ "ノ クが; 3 ティ ングされお βα钣 σ ルであることも待徽とする躜求の 糠囲第 1項に is載の薄廐形成装 at。 4. 上纪ドクタ(8)が、 せラ ミ ク製ドクタブレート *( 8 a)^備 えた fcのであることを特徼とする請求の 15窗第 1項に纪裁の薄 «形 成装蒙。 5. 上 SBKクタ(6)が、 金属製ドククプレ ドの表面にセラミ クが: 3 ティ ングされおドクタブレ一ド *備えおものであることも 特徵とする請求の範豳第 1項に IB載の薄裏形成装置。 6. 支持手段(2)も有する基台(1)と、 支持手 ¾(2)に回転自在に支持されかつ所定バタ一 配列され た多数のインキセル(3 b)も表面に有する凹版 σ—ル(3)と、 この 23餱 a—ル(3)の表面にインキ *供轸するインキ供袷肇羅(5 )と、 0 上記凹版 ル(3)の周囲斩定饑斩に備えられ »凹版ロール(3) に供袷されたィンキも凹钣ロール(3〉表面に広げて上記ィンキせル (3 b)内に一定量のインキを保持させる ドクタ(8)と、 上纪支持手 S 2)に支持され上 ΙΕΒίΙΙδ ル(3)を回転甎動させ る粗勳装置(7)と、 上 IE基台(1〉上に設 *されかつ被印刷体 U 0)も橥せるための弹 i 5 性上面も有する定整く I i )と、 WO 87/05264 ft , PCT/JP87/00134 — 34— 上 ia定餮(i i )を基合(l )上で被印痢体撅入位置(B)と印刷位置 (A)と被印刷体搬出位置(C)との閱 移動せしめる被印刷体躯 aci 1 , 1 2)と、 上 taoflisロール(3)の回転と上記定鱸(11〉の移動とも *御して δ 上紀 Dfl艇 σ—ル(3)のインキセル(3 b)内の新定パターンのィンキ も上 8S¾印刷^ (1 0)に印刷させる制御装置とからなることも柃徵 とする薄澳形成装置。 7. 上 S凹艇 ル(3)が、 セラミ ク製凹牍ロールであ こと も特豢とする蹐求の輯囲第 6項に 3Η轅の薄 ¾ ^成装匿。 ί 0 8. 上 15凹 σ—ル(3)が、 金属製 03钣 σ—ルの表面にセラミ クが; 3—ティ ングされお凹钣ロールであることも特欲とする 求の 筘囲第 &項に記載の薄饞形成装置。 9. 上 ドクタ(δ)が、 セラミ ク製ドクタブレードも備えたも のであることも特激とする躋求の 15豳第 8項に 敏の鎵騰形成 ¾置< 15 10, 上 ¾ドクタ(8)が、 金属製ドクタブレ—ドの表面にせラミ クがコーティ ングされたドクタブレ一ドを德えおものであることを 特截とする請求の範囲第 6項 13«の薄義形成装鼠 <
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引用文献:
公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
法律状态:
1987-09-11| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): KR US | 1987-09-11| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): CH DE FR GB IT | 1987-10-29| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1987901664 Country of ref document: EP | 1988-03-02| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1987901664 Country of ref document: EP | 1993-08-19| WWR| Wipo information: refused in national office|Ref document number: 1987901664 Country of ref document: EP | 1993-09-14| WWW| Wipo information: withdrawn in national office|Ref document number: 1987901664 Country of ref document: EP |
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申请号 | 申请日 | 专利标题 JP61/46806||1986-03-03|| JP61046806A|JPH0311630B2|1986-03-03|1986-03-03|| JP61/309368||1986-12-27|| JP61309368A|JP2620623B2|1986-12-27|1986-12-27|薄膜形成装置|KR87701003A| KR960010514B1|1986-03-03|1987-03-03|박막형성장치| 相关专利
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